1、振动速率
一般小于1.0mm/s。
2、面风速
一般介于0-0.6m/s之间，如是五档调速则是各档对应的风速大致是0.3-0.35-0.4-0.45-0.5m/s，无极调速则大致是0-0.6m/s。
3、风速均匀度
指ffu控制单元面风速的均匀度，高级别的洁净室对其要求尤其严格，否则极易引起扰流。优异的风机、过滤器及散流板设计、工艺水平决定该项参数的优劣，测试该项参数时，视FFU控制单元出风面的大小，均匀选取6-12个点 测试面风速，其最大、最小值相比较平均值不得超过±20%。
4、功耗
交流系统一般在100-300瓦；直流系统在50-220瓦。直流系统较之交流功耗小30-50%。
5、总静压
也称总压，即FFU控制单元在最大功率，风速为零时，其能提供的静压值，一般交流FFU控制单元的在300Pa左右，直流FFU控制单元的在500-800Pa，在一定风速下，一般可以这样计算：总静压（TSP)=机外静压（ESP，FFU控制单元提供的克服外界管道、回风道阻力的静压）+过滤器压损（该风速下的过滤器阻力值）。
6、机外静压
也称余压，该参数关系FFU控制单元的使用寿命，其与风机密切相关，一般要求在面风速0.45m/s时，机外静压不小于90Pa。
7、噪音
一般噪音介于42-56dBA之间，使用时比较关注在面风速0.45m/s，机外静压在100Pa时的噪音，同等规格尺寸的FFU控制单元，直流的比交流的要小1-2分贝
