无尘室内的气流是无尘室洁净度的重要因素，一般无尘室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持无尘室洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度，以最适当的风速供应。
达到无尘室洁净度稳定的效果，均一气流保持为重要因素，均一气流若无法保持，表示风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，此时要实现无尘室高洁净度事实上很困难。
垂直层流式方向要保持均一气流需注重以下几点：
1.吹出面的风速不可有速度上的差异；
2.地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，目前一般无尘室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
